西安交通大学陕西省微纳传感器工程技术研究中心,以院士和长江学者为学术带头人的研究团队组成,专门从事微纳传感器设计、制造和应用研究工 作。根据军工、航空航天等领域的特殊需求,依托西安交通大学精密工程与测

试技术研究所及机械制造系统工程国家重点实验室在特种 MEMS 传感器领域的技术、人才、设备优势,开展 MEMS 耐高温压力传感器、超高压压力传感器、高频响压力传感器、微型化压力传感器的设计、制造及产业化研究。中心在特种传感器研究方面,已授权国家发明专利 50 余项,获得国家技术发明二等奖 1 项和

省部级科学技术一等奖 4 项。

目前,中心拥有科研生产用房 1100 平方米,各类 MEMS 传感器封装测试设备总价值 1500 万元以上。中心以高温、高压压力传感器、高频、微型、力、加速度等特殊需求传感器及数据记录仪作为主要加工、生产方向,建设完成了专用的 MEMS 微纳传感器及数据记录仪的生产和检验工艺线,建立了完善的传感器测试平台,通过了 ISO9000 质量管理体系认证及 GJB9001B-2009 国军标体系认证。

XJA1 高 g 值冲击加速度计采用的 MEMS 压阻式硅芯片拥有自主的知识产权, 其独特的内部结构,为传感器提供了可靠的过载?；?、适当的空气阻尼及良好的密封性。主要用于航空航天、兵器、船舶、轨道交通装备等对冲击、碰撞、爆破产生的加速度测量。